吉时利发布新的用于65nm及更小尺寸技术的半导体可靠性测试系统

美国俄亥俄州克里夫兰市近日报导——吉时利 (Keithley) 仪器公司 (NYSE: KEI) 是为不断增长的测量需求提供解决方案的领导者，发布了新的S510半导体可靠性测试系统，是高通道测量的完整方案，用于全世界最先进65nm节点及更小尺寸的ULSI CMOS过程工艺的可靠性测试和寿命。它提供了晶圆级可靠性(WLR)测试的高吞吐速率和高度的灵活性。减少评估可靠性和完成寿命建模的时间，从而减少项目的技术研发和工艺过程开发的耗时，缩短产品进入市场的时间。S510系统也可用于产品生产的WLR监测或作为实验室的参数测试系统。