吉时利（Keithley）推出新的脉冲式半导体器件特性测量方案

美国俄亥俄州克里夫兰市近日报导——吉时利 (Keithley) 仪器公司 (NYSE: KEI) 是为不断增长的测量需求提供解决方案的领导者，宣布在4200型半导体特性分析系统中新增加了脉冲信号发生和测量功能，支持脉冲式的半导体特性分析功能。新的PIV（脉冲I-V）子系统，更便于进行高介电（High－k）材料、热敏感器件和先进存储芯片等的前沿技术研究，使其测量更加准确，产品投入市场更加快速。这是第一款商用化的集成了精确、可重复的脉冲和DC测量于一体的解决方案，而且使用非常方便。

脉冲I-V （简称PIV）子系统是吉时利公司Model 4200-SCS系统的一个新增选项。Model 4200-SCS系统适用于实验室级别的精准DC特性测量和分析，具有亚飞安级的微电流分辨率和实时绘图、数据分析和处理能力。该系统集成了目前最先进的半导体特性分析性能，包括一台带有Windows XP操作系统和大容量存储器的嵌入式PC机。

何时需要脉冲测量

随着半导体工艺发展到65 nm甚至更小，不同于DC源－测量技术的脉冲式技术就成为必需的，用于有效地表征新材料和新器件的新问题，例如：高介电High-k材料的界面态和SOI（Silicon On Insulator）器件中自热效应等。当前沿技术的开发者认识到对脉冲测试的需要时，市场上还没有简便、精确和可重复的脉冲测量解决方案。吉时利的这套新的4200-SCS 系统的PIV子系统正好填补这个空白。它通过把脉冲信号产生、脉冲测量、专利申请中的软件和被测设备（DUT）的简便连接，都集成在一个紧凑的系统中，用户不必在摸索中进行复杂的线路连接、内部软件的调试和质疑测量数据。在已验证过的Model 4200-SCS系统平台上，将新的脉冲特性集成进去，实现了一个系统内进行精确的DC和脉冲测量的全部功能，而且其软件采用的也是在业内已被验证和认可的KTEI半导体测试软件。

Model 4200-SCS新的脉冲I-V性能

脉冲I-V （PIV）子系统建立在一个新的双通道脉冲发生器卡上，该卡的特点是拥有两个独立的通道，频率范围从1Hz到50MHz。它能够产生短到10纳秒的脉冲，允许对SOI和其他65nm以及更小尺寸的器件和过程进行真实的等温脉冲测量。精细的脉冲边缘的缓慢控制允许对界面态、AC Stress测试和存储器测试进行精确的源和测量。用户能够控制几个脉冲参数，例如：脉冲宽度、占空比、升降时间、幅度和偏移量。把脉冲式的功能和测量同Model 4200-SCS世界领先的DC特性结合起来，这在市场上尚是唯一的。

强大的软件功能

与脉冲I-V （PIV）子系统捆绑在一起的新的、正在申请专利的软件，无论在准确度还是在可重复性方面都带来了更好的效果。集成的软件和面向用户的友好界面都是很容易学习和使用的，所以即使是非专业的用户都能快速上手并且得到很好的脉冲I-V测量结果。PIV软件控制着脉冲发生器和测量，设置和驱动双通道脉冲发生器的脉冲产生、触发、进行脉冲测量，并收集和提交数据。

新的PIV软件套装，具有为保证测量完整性而设置的电缆补偿算法和为精确的脉冲极限电压提取设置的Load-line校正方案。

PIV子系统内包含了一些样例方案（Sample Projects）和代码，用于执行脉冲I-V和界面态测试，节省软件开发的时间和费用。完整的PIV子系统缩短了脉冲测量的学习曲线，还允许在单一系统中进行多种测试。

应用

Model 4200-SCS PIV子系统有着广泛的用途。它是唯一一种适合解决高介电High-k介质的集成电路(例如界面态)和65nm及更小尺寸工艺的新器件热特性(例如SOI和FinFET器件)的问题的工具。其他的应用包括电荷泵（Charge Pumping），AC stress失效机理的测试和其他的脉冲和时钟方面的应用。

Model 4200-SCS PIV子系统对于在半导体TD（Technology Development）、PD（Product Development）和可靠性实验室，以及材料和器件研究实验室中的工程师和管理者来说是非常理想的选择。包含了样例测试方案可使学习曲线变短，从而提高生产能力，直观易用的软件使得测试和特性表征更加快速，从而提高产能。因而，任意一个需要在实验台上进行DC和脉冲测试的半导体实验室都将从Model 4200-SCS PIV子系统中受益。

单独就可工作的脉冲性能

双通道脉冲发生器卡同样可集成到Model 4200-SCS上作为通用的脉冲发生器。通用的脉冲发生器适用于像失效分析、电荷泵、闪存测试和时钟发生器这样的应用。包括脉冲发生器卡在内的软件使用的都是友好的图形用户界面（GUI）。

KTEI 6.0版本新增的应用

与Model 4200-SCS PIV子系统一起发布的是吉时利KTEI半导体测试软件的一个新的版本―6.0，该版本包括了对这些新增特性的支持。由吉时利的专家组和用户所作的不断的改进使得KTEI软件保持与目前和将来的需要相符，并且帮助用户花费很少的费用就可以对现有的Model 4200-SCS进行软件最新版本的升级。

更多信息

如果您需要了解吉时利公司Model 4200-SCS PIV 子系统的更多信息，观看在线介绍，请访问http://www.keithley.cn/pr/pr015.htm 或联系吉时利仪器公司（中国）市场部：

关于吉时利仪器公司。

美国吉时利仪器公司具有50多年的测试和测量经验，已经成为涵盖从DC(直流)到RF(射频)先进的电子测量仪器和系统的行业领导者。面对电子制造业对高性能的生产测试、工艺监控、产品的研究与开发方面的特殊需要与挑战，提供适用的解决方案。通过建立在电子测试研发方面的优势，吉时利仪器公司已经成为一个在半导体、无线通讯、光电器件和其它精密电子测量领域世界级的测试技术领导者。我们对客户的核心价值在于先进的精密测量技术与深入了解客户应用的有机结合，从而可以帮助我们的客户提高产品质量、产能与产量。

本文中涉及的产品和公司名称均为注册商标或各自公司的商标名称。