| 灵敏测量 | |
| 皮安表 | 静电计 | ||||
|
|
|
|
|
|
|
| 型号 | 6485 6487 | 2502 | 6514 | 6517B | 6430 |
| 电流测量量程 | 20fA–20mA | 15fA–20mA | <1fA–20mA | <1fA–20mA | 400aA–100mA |
| 特点 | 500V 源 (仅6487) | 100V 源/通道 | 10fC–20μC 电荷测量 | ±1kV 源 | 数字源表带远程前置放大器 |
| 源-测量单元(SMU) | 数字源表 | 电流放大器 | 半导体参数分析仪 | |||
|
|
|
|
|
|
||
| 型号 | 237 | 2635A 2636A | 2400 | 2410 | 428-PROG | 4200-SCS |
| 电流测量量程 | 10fA–100mA | 1fA–1.5A | 10pA–1.05A | 10pA–1.05A | 1.2fA–10mA | 10aA–1A (带远程前置放大器和高功率SMU) |
| 特点 | 高速源/测量性能,5位 | 非常适于半导体测试应用 | 通用 | 高压 | 电流放大器 | 机箱最多可配置9台SMU |
| 电流源 | 电压源 | 源-测量单元(SMU) | 亚fA程控源表 | 数字源表 | ||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
型号 |
6220 | 6221 | 248 | 237 | 6430 | 2635A 2636A | 2400 | 2410 |
最大输出 |
±105mA | ±105mA | ±5000V (电压输出) | 1100V | ±105mA 或 ±210V | 200V | 1.05A, 210V | 1.05A, 1100V |
特点 |
仅DC | AC 和 DC | 高压电源 | 内建波形 | 50aA 输出分辨率 | 1 或 2 每台仪器含1~2台SMU;非常适于多通道配置 | 通用 | 高压 |
| 428-PROG 能将小电流转换为电压用于数字化或显示。增益能以10的倍数在 103V/A 和 1011V/A之间调节。 |
纳伏表 |
数字万用
|
DMM/开关 |
|||
型号 |
|||||
| 类型 | 纳伏表 | 8½-位 DMM | 7½-位 DMM | 7½-位 DMM | DMM/数据采集/开关/数据记录系统 |
电压量程 |
10mV 至 100V |
200mV 至 1100V |
100mV 至 1000V |
200mV 至 1100V |
100mV 至 1000V |
电阻量程 |
100nΩ 至 1GΩ |
1μΩ 至 100MΩ |
1μΩ 至 1GΩ |
1μΩ 至 120MΩ |
|
热电偶温度范围 |
-200°C 至 1820°C |
-200°C 至 1820°C |
-200°C 至 1372°C |
-200°C 至 1820°C |
-200°C 至 1820°C |
![]() |
完美的测量搭档实现卓越的易用性 |
|
|
||
应用笔记 |
||
文章 |
||