铜分析库选件
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型号：COPPERANALYSISLIBRARY
主要特点及优点:
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主要特点及优点:
- 铜分析库包括新的铜测试算法，用于：
- 测量金属线侧壁氧化物的击穿电压
- 铜线宽度测量
- 计算四终端金属线的电阻
- 四终端范德堡方法测量金属片电阻
- 腐蚀导致的金属漏电流测量
- 侧壁泄露测量
- 垂直电阻测量用于铜线在双镶嵌过程中的沉积
- 金属线侧壁电容提取
- 测试侧壁氧化物在金属线焦耳加热膨胀压力下的机械强度
- 低k电介质吸收
这一选件提供的方法能轻松获得有关铜工艺的有价值的信息。该软件包含九个新的铜测试算法，能够容易的组合出参数测试序列。文件则提供了用于铜测试结构的建议。
- 参数测试
*欲了解更详细信息（英文）- 您可以在搜索栏中输入型号的号码进行查询。
上次修改时间: 2007-08-24