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自动集成测试系统
基于ACS(自动特征分析套件)的集成测试系统的配置,应用于元件测试、元件特性、设备特性、参数测试和可靠性试验等多样应用。配备高完整性吉时利硬件(包括2600A、2400系列数字源表、4200-SCS型半导体特征分析系统、700系列交换机系统和3700系列系统开关/万用表)的ACS系统是那些通过半自动或全自动晶圆探针台获取大量的数据的理想选择。晶圆探针自动化选项使通用探针台可以很简单的与测试装置设置连接。

 
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