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半导体参数测试系统
吉时利S530半导体参数测试系统处理过程可靠性监控、设备特性中要求的所有DC和C-V测量,并设计应用在生产、实验室环境中涉及的广泛的设备和技术。
S530系列参数测试系统
  • pA电流测量功能
  • 低漏流测量完整性
  • 20W SMU最高可提供1A电流和200V电压
  • 可配置最多8个SMU和60个管脚
  • 可选的适配器扩展保护探针
  • 兼容常见的全自动探测器
  • C-V测量带宽高达1MHz
S530系列参数测试系统
  • 最高可提供10mA下1000V的电压源
  • 支持高压漏流和击穿测试
  • 低漏流测量完整性
  • 具有pA电流测量功能
  • 20W SMU最高可提供1A电流和200V电压
  • 可配置最多7个SMU和32个管脚
  • 可选的适配器扩展保护探针
  • 兼容常见的全自动探测器
  • C-V测量带宽高达1MHz

半导体特性分析电子指南 精密直流I-V、交流阻抗以及超快I-V或瞬态I-V测量应用指南

 
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