4200-SCS

竞争对手的高性能系统

竞争对手的
模块化单元+Windows
GUI+ 外部
PC + GPIB
接口

普通测量（失效分析、器件特征分析）

■

■

■

■

纳米技术研究（低电流、低电压）

■

■

高k介质（多频C-V、电荷泵、电荷俘获）

■

低k介质

■

■

■

■

霍尔效应与范德堡测试

■

铜互连（低压）

■

■

RFIC、高功率MOSFET/BJT（高功率源/测量）

■

■

器件可靠性与寿命测试
（交流应力、HCI、NBTI、QBD和EM）

■

测试具有恒温限制的器件（SOI器件、FinFET）

4200-SCS

竞争对手的中等或高性能系统

竞争对手的模块化单元+Windows GUI+外部PC
+第三方 GPIB解决方案

测
量
功
能

电流分辨率

0.1fA

10fA或1fA

10fA

最大电流

1A

100mA

1A

最大SMU配置

中等功率SMU

8MP

4MP

8MP

高功率SMU

4MP + 4HP

-

0MP + 4HP

备选低噪声远程前置放大器

是

否

否

可升级

是

否

是

所需的自校准（ACAL）间隔

24小时

30分钟

1小时

每通道的高精度（22位）ADC

是

否

否

最低SMU电流量程/偏移

1pA/10fA

1nA/3pA或10pA/20fA

1nA/3pA

最低SMU电压量程/偏移

200mV/80μV

2V/700μV或2V/200μV

2V/700μV

数
据
采
集
与
控
制

用户界面

Windows GUI

按钮式

Windows GUI

同时观看多个测试

是

否

是

对器件或圆片进行测试定序

单击

IBASIC编程

多次点击

厂商提供C-V驱动和分析

是

否

是

厂商提供开关驱动

是

部分

是

厂商提供探针驱动

是

否

是

可扩展GUI能够支持所有RS-232或GPIB设备

是

否

是

安捷伦4145风格的命令集

是

是

否

硬件/GUI架构

PCI/Windows

面板

PC→Windows→USB→
GPIB→ 专用接口

每通道配置微处理器/存储器

是

否

否

绘图
和报
告功
能

内置Excel风格的表单

是

否

否

直接导出.xls文件

是

否

否

导出.bmp, .jpg或.tif图形文件

是

否

通过PC

连
接
能
力

操作系统

Windows

专用

外部PC上的Windows

用于数据存档的CD-RW和大容量硬盘

是

否

通过PC

联网

Windows

仅限于NFS

通过PC

打印

任意Windows
驱动程序

仅限于HP打印机

通过PC

便携式媒体

CD-RW & 软驱

软驱

通过PC

支
持

由一家厂商供货并负责所有的服务与支持

是

是
（面板操作）

否

不间断的软件支持

KTE交互
式环境1

用户编写

IC/V 2.1 Lite2

支持用户添加的仪器驱动

是

否

否