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吉时利扩展C-V测试功能的4200半导体特征分析系统-吉时利仪器公司
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面向高产能WLR测试的集成测试系统
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编写4200-SCS探针驱动程序
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KTEI V7.1——开启C-V、脉冲和I-V测试的动力之源
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半导体电容-电压(C-V)测试的方法、技巧与注意事项
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吉时利交互式测试环境(KITE)
新型半导体材料的出现、器件尺寸的缩小和工作速度的提高都使得器件的特征分析工作比以前更具挑战性。除了直流特征分析之外,我们还需要一些新的测量技术,以提供上述新技术所需的测量数据。脉冲I-V测试针对这些测试挑战提供了一种新的测量方法。利用高速电压脉冲对这些材料和器件进行特征分析时不会导致自热问题,因为自热效应会影响器件的响应速度,使测试结果发生歪斜。
最新版的KTE Interactive(Ver. 7.0)为两种新的测量仪器提供了软件支持--一种是插入4200-SCS背板插槽的脉冲发生器卡(与SMU类似),另一种是用于时域测量的双通道数字示波器。这些新仪器使得在4200-SCS测试环境中集成脉冲和信号观察功能变得非常方便,具有很高的性价比。现在,实验室用户曾经用于直流特征分析的同一台参数分析工作站还能够用于脉冲测试应用,例如电荷俘获、交流应力测试、时钟发生和混合信号器件的测试。
其中,项目浏览器能够组织测试并控制测试的顺序。在不同的测试配置之间进行转换以及查看测试结果都非常简便、快速。对一个器件进行顺序测试只需点击浏览器中的该器件,然后点击Run键。
KITE使用一种称为项目浏览器的界面管理测试项目
通过吉时利交互式测试环境(KITE),用户能够很快掌握器件的特征。当执行一个测试序列时,用户可以在该序列运行过程中查看测试结果和整个测试的数据图。其中,用户可以同时观看多个数据图,获得体现该器件性能的完整视图。
主要特征:
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即使是新手用户也无需编程帮助,立刻开始高产能的测试,降低测试成本,加快ROI进程;
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通过灵活的用户界面很容易在工作过程中改变测试参数,只需轻点鼠标即可完成交互式的器件测试过程;
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可选装的脉冲I-V测试包,连同双通道脉冲发生器和用于时域测量的双通道数字示波器,扩展了4200-SCS在先进器件与材料研发、可靠性、建模和失效分析实验方面的应用;
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很容易从安捷伦4145/56进行测试转换。通过同时采集数据、分析图线和打印报告能够实现更高效的工作;
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能够将测试配置、数据和图线导出为.xls文件、带分隔符的txt文件、bmp、jpg或tif格式的文件;
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内含各种应用的测试与项目范例,简化了测试启动过程;
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强大的应力测量功能进一步简化了可靠性测试;
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厂家提供了电容计、开关矩阵、脉冲发生器和各种探测器的驱动,简化了特定应用的配置过程;
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为主要建模软件工具包提供的驱动选项使得4200-SCS能够兼容所有的实验室测试环境。