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ACS晶圆级的自动化半导体特征分析
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     晶圆级的自动化半导体特征分析-ACS集成系统
满足传统和新兴可靠性测试需求的可扩展解决方案
ACS集成测试系统是一种可灵活配置、基于仪表的系统,用于器件、晶圆或晶圆盒(Cassette)的半导体特征分析;其强大而灵活的自动化软件系统实现了独特的测量功能。这种模块化的解决方案能够满足半导体产业对灵活性和扩展性的不同需求。结合ACS(自动特征分析)软件平台,吉时利久经考验的仪器和测量技术构成了该系统的核心,ACS系统填补了交互式实验室研究设备与高成本和高产能的生产测试设备之间的空白。
         
ACS测试系统建立在现有的吉时利仪器之上,提供创新的测量特性和系统灵活性,可按您的需求调整。其独特的测量能力,结合强大且灵活的自动化导向的软件,带来广泛的应用和特性,是市场上其它竞争产品所不及的。经常被采用的仪器是I-V源测量产品,例如4200-SCS、2600系列数字源表和/或2400系列。ACS系统也经常使用脉冲、脉冲I-V、C-V和开关产品。它们可以配置成实验台或者全高度机架集成系统。
晶圆级的自动化半导体特征分析-ACS集成系统
产品介绍
技术文章
    完全可定制的系统包括:
   从测试台到全高度仪器架的配置范围;
   测试系统针对250nm到45nm的半导体工艺进行了优化;
   兼容常用的半自动和全自动探针台;
   用于配置和分析的交互式探针台控制功能;
   分选与晶圆定位功能;
   基于自动测试的可配置、实时结果绘图功能。
   可配置的仪器:

  4200-SCS: 业界领先的4200-SCS具有低电流测量、脉冲发生、脉冲I/V测量和其它独特能力。具有半自动或全自动探针台系统的ACS系统应用包括器件特性分析和晶圆级可靠性 (WLR)。

  2600系列: 嵌入式测试脚本处理器(TSP™)能实现高速测试和高级扫描或测试算法。另外,TSP-Link™意味着多台 2600系列的仪器可以实现无可匹敌的并行测试产出。这些ACS系统的独特优势特别适合元器件测试、晶圆分选和WLR等应用。2600系列数字源表非常适合于各种半导体可靠性测试,包括极具挑战性的缩放硅可靠性测试,如NBTI(negative bias temperature instability,负偏温度不稳定性)。

  2400系列: ACS测试系统能从事独特的高功率应用,如电力MOSFET和显示屏驱动器。

  4200-PIV: 具有全集成脉冲源和测量的ACS测试系统适合对前沿器件进行特性分析。作为选择,您可以简单的利用脉冲发生器,用脉冲编程能力紧密集成4200-PIV源-测量(I/V)卡来提供最终的结果。

  3400系列: 这些单通道或双通道脉冲码型发生器可编程控制脉冲参数,包括上升/下降时间和脉冲宽度可短至3纳秒。

  开关: 吉时利广泛的的开关产品线可实现多种ACS系统应用。707A和708A提供杰出的低电流矩阵能力和其它矩阵选择,应用领域如半导体器件特性分析、晶圆级可靠性和并行测试。

    ACS Benefits
   主要优点
   达到更高级别的自动化
   能够实现半自动和全自动探针台的系统操作
   能进行cassette级全自动操作
   支持更复杂或更严苛的测试环境
   满足更严格的数据需求
   专注于晶圆图和描述效用,允许多种测试计划模式
   通过一个单独的逻辑软件来增强整个系统的效率
   非凡的灵活性允许用户按需求增加新的测试计划、测试库和硬件
   一组应用软件带来广泛的配置可能性
可配置的仪器
    可配置的仪器
    特别适合管芯分拣和其他高产能测试应用的多部位并行测试。
   在多组测试功能下,多组源测量单元可以对不同的器件、结构或管芯进行并行测试;
   通过每台源测量单元中内嵌的测试脚本处理器(TSPTM)进行分布式处理,支持真正的并行测试;
   高电压和高电流测试功能覆盖了很大的工艺范围;
   提供了随时可用的测试与参数提取库。
    先进的可靠性测试系统
先进的可靠性测试系统
    通过单个测试执行程序即可控制强大的脉冲I/V模块和先进的直流源测量单元。
   超高速脉冲I/V模块为器件的可靠性物理特征分析提供了独特的视图;
   先进的源测量单元提供了最佳的直流可靠性测量方案;
   方便地比较和对比超高速脉冲I/V测量与直流测量;
   凭借各种测量功能全自动采集大容量统计样本,包括脉冲I/V、直流和CV,使用直流和/或交流应力条件;

   集成式测试开发环境加快了可靠性测试的设计与分析过程。
高产能的WLR
   高产能的WLR
    SMU-per-pin配置尤其适用于按比例缩放的CMOS工艺可靠性测试。
   适用于直流“在线(on-the-fly)”NBTI测试;
   高速测量功能能够捕捉到NBTI和TDDB测试中的时间分辨现象;
   嵌入式测试脚本处理器(TSP)和大容量的测量缓存能够确保所有管脚上都有确定的时序;
   高达200V的应力和pA级测量能力覆盖了极宽的测量功能和技术;
   实时绘图功能能够帮助用户在测试数据出现时及时查看结果。
         
自动化是ACS软件平台的主要特征。它支持对单个器件,到晶圆,再到晶圆盒(Cassette)不同级别的对象开发测试计划(Test Plan)。ACS软件的交互式用户界面(GUI),包括晶圆圆形描述工具,以及各种测试模块和测试序列。用户可以通过图形或图表的方式实时查看数据,也可在同一张图表上观察并行测试结果。在一项测试完成后,用户可以通过交互式GUI处理测试结果,并轻松配置后续的测试项目。
自动化是ACS软件平台