Keithley Instruments Inc. - 半导体参数测试解决方案

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半导体测试测量解决方案

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材料研究的解决方案

我们的创新工具和系统正在下列的新兴技术应用中，像高k材料、铜迹线、低k隔离，III-V族的化合物、碳纳米管等发挥重要的作用。模块化设计、灵活的组合和易于扩展，可有效地减少重组系统需要的费用。

半导体器件特性分析的解决方案

半导体制造业者仰赖吉时利的工具和系统帮助他们更加快速地进入市场，创造价值，而且在最短的时间内达成最高的器件可靠性。这些测试方案是根据半导体工厂和研究人员的特殊需要而进行设计的。

可靠性测试解决方案

Keithley为可靠性测试提供完整的解决方案，帮助制造业者控制不良率，减少失效，增加客户满意。从晶圆级的器件到封装部件的测试，这些系统采用先进的测量算法，具有极高的产能。

测试	应用需求	吉时利解决方案
加速老化试验AST	• 电源，监测温度，多器件测试	2400 系列数字源表
		2700 集成式数据采集系统
		2600 系列数字源表
晶圆级可靠性测试（WLRT） - HCI/CHC - EM - TDDB等	• 多器件应力测量 • 高可配置应力测量循环	采用KTE 5.0以上版本的4200-SCS
		2600系列数字源表
		S510系列半导体可靠性测试系统
质量控制测试（QAT）	• 用户自定义方案与驱动的模块化结构构建	2600 系列数字源表
		6430 亚飞安远程数字源表
		707A开关系统
		2000 系列数字万用表
		2600系列数字源表
监测与记录实验室环境参数	• 测量温度与湿度，分布式/远程通讯	2700 集成式数据采集系统

制程控制解决方案

吉时利帮助半导体工厂控制他们的参数测试费用，提高产能和准确性。针对这一目标的产品特性包括超低漏电信号开关、并行的直流和射频测量，灵活地选择适合样品的测试，菜单管理软件使测试计划更加有效。

制程	应用需求	吉时利解决方案
新技术	RF/DC、SOC、FeRAMs、 MRAMs、LCD-TEGs、PRAM	S400/S600 参数测试系统
		4200-SCS
栅极/多晶	MOSCAP GOI, ECD, Vt	4200-SCS
		S600 系列参数测试系统
		2600 系列系统源表
第2层金属	接触检查，电迁移，EWR	S600 系列参数测试系统
		4200-SCS
设备资格	掺杂密度	S600 系列参数测试系统
生产线终端晶圆检验	晶体管（Vt）、二极管、电容、电阻、门延迟	S600系列参数测试系统
		4200-SCS

功能测试的解决方案

经济而高速的功能测试可从吉时利获得，甚至是小批量的应用也能提供解决方案。对封装后的器件（诸如RFIC、光电集成电路和其他一些特殊的器件）进行高度重复性的通过/失效检测，可帮助减少生产厂商的测试总成本。吉时利以其在系统整合上的专长，能够为各种应用提供测试方案和高速的开关系统。