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半导体参数测试解决方案
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     材料研究的解决方案
我们的创新工具和系统正在下列的新兴技术应用中,像高k材料、铜迹线、低k隔离,III-V族的化合物、碳纳米管等发挥重要的作用。模块化设计、灵活的组合和易于扩展,可有效地减少重组系统需要的费用。
材料
应用需求
吉时利解决方案
导体
低电阻和电容测试
2182A /6221纳伏表
2010 数字万用表
2750 多用表/开关系统
4200-SCS
2400/2600/6430 数字源表
小电流测试
6485 皮安表
4200-SCS
6430 亚飞安远程数字源表
超导体
低电压的低噪声快速测试
低电阻的低噪声快速测试
2182A/6221 纳伏表
1801 前置放大器
2000 系列数字万用表
2510 温控数字源表
绝缘体
高电阻测量
6517A 静电计
6430 亚飞安远程数字源表
6485 皮安表
248 高压电源
半导体
可靠性测试
电容测试
电阻率测试
4200-SCS
6430 亚飞安远程数字源表
707A/7174A 开关系统
2000 系列数字万用表
     半导体器件特性分析的解决方案
半导体制造业者仰赖吉时利的工具和系统帮助他们更加快速地进入市场,创造价值,而且在最短的时间内达成最高的器件可靠性。这些测试方案是根据半导体工厂和研究人员的特殊需要而进行设计的。
待测器件
应用需求
吉时利解决方案
晶体管
I-V, C-V 测试
脉冲I-V测试
4200-SCS
2400/2600 数字源表
器件建模
数据采集和参数提取
4200-SCS
电容
电容,电荷,低电流,击穿电压
4200-SCS
2410 数字源表
6517A 静电计
纳米电子器件
C-V特性分析
低电阻测试
纳米电子,分子电子I-V曲线
4200-SCS
6517A 静电计
2182A 纳伏表
6430 亚飞安远程数字源表
二极管
高击穿电压,I-V曲线
4200-SCS
2400/2410 数字源表
2600系列数字源表
电阻
大的动态范围,高测试精度,快速测量能力
4200-SCS
2400/2600 系列数字源表
6517A 静电计
2000 系列数字万用表
2600系列数字源表
     可靠性测试解决方案
Keithley为可靠性测试提供完整的解决方案,帮助制造业者控制不良率,减少失效,增加客户满意。从晶圆级的器件到封装部件的测试,这些系统采用先进的测量算法,具有极高的产能。
测试
应用需求
吉时利解决方案
加速老化
试验AST
   电源,监测温度,多器件测试
2400 系列数字源表
2700 集成式数据采集系统
2600 系列数字源表
晶圆级可靠性
测试(WLRT)
- HCI/CHC
- EM
- TDDB等
   多器件应力测量

   高可配置应力测量循环
采用KTE 5.0以上版本的4200-SCS
2600系列数字源表
S510系列半导体可靠性测试系统
质量控制测试(QAT)
   用户自定义方案与驱动的模块化结构构建
2600 系列数字源表
6430 亚飞安远程数字源表
707A开关系统
2000 系列数字万用表
2600系列数字源表
监测与记录实验室环境参数
   测量温度与湿度,分布式/远程通讯
2700 集成式数据采集系统
     制程控制解决方案
吉时利帮助半导体工厂控制他们的参数测试费用,提高产能和准确性。针对这一目标的产品特性包括超低漏电信号开关、并行的直流和射频测量,灵活地选择适合样品的测试,菜单管理软件使测试计划更加有效。
制程
应用需求
吉时利解决方案
新技术
RF/DC、SOC、FeRAMs、
MRAMs、LCD-TEGs、PRAM

S400/S600 参数测试系统

4200-SCS
栅极/多晶
MOSCAP GOI, ECD, Vt
4200-SCS
S600 系列参数测试系统
2600 系列系统源表
第2层金属
接触检查,电迁移 ,EWR
S600 系列参数测试系统
4200-SCS
设备资格
掺杂密度
S600 系列参数测试系统
生产线终端晶圆检验
晶体管(Vt)、二极管、
电容、 电阻、门延迟
S600系列参数测试系统
4200-SCS
     功能测试的解决方案
经济而高速的功能测试可从吉时利获得,甚至是小批量的应用也能提供解决方案。对封装后的器件(诸如RFIC、光电集成电路和其他一些特殊的器件)进行高度重复性的通过/失效检测,可帮助减少生产厂商的测试总成本。吉时利以其在系统整合上的专长,能够为各种应用提供测试方案和高速的开关系统。
制程
应用需求
吉时利解决方案
IDDQ(SoC和其他
高 度集成的器件)
加电压,测小电流
2400/2600, 2420系列数字源表
7000 系列开关系统
7000 系列开关卡
4500-MTS
2600系列数字源表
光电集成电
路和收发器
加电压,测电流
加电流,测电压
2400/2600 系列数字源表
2520 脉冲激光二极管测试系统
6517A 静电计
7000 系列开关系统
7000 系列开关卡
4500-MTS
2600系列数字源表
客户自定义的小量功能测试
测试序列列表,快速
通过/失效测试,
分选/排序,RF
2400/2600 系列数字源表
707A/708A 型开关系统、
7000 系列开关卡
S40射频/微波信号路由系统
4500-MTS
2600系列数字源表
特殊测试
多通道 I-V 测试
4500-MTS
2600系列数字源表