随着半导体工艺向45nm挺进,High-K材料、金属栅等新工艺被大规模的使用。无论是在芯片设计公司还是芯片制造公司,测试工程师都面临着越来越大的挑战,层出不穷的新问题需要新的测试仪器和测试方法。如何快速而正确得获取大量的工艺特性参数,可靠性特性参数,功能特性参数成了摆在测试工程师面前的亟需解决的问题。作为半导体参数测试领域的领先者,吉时利仪器新创新的测试平台ACS(Automatic Characterization System),整合了吉时利仪器众多的领先测试仪器,从DC到RF,测试工程师可以在这个平台上完成诸如On-the-Fly NBTI, Pulse IV, Smart TDDB, Wafer Level S-Parameter等新型测试。ACS已经为全球众多的知名半导体厂商所采用,而这个研讨会的主旨就是要向大家介绍这一平台的应用及其优势。 |