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S600系列晶元级参数测试解决方案
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     晶元级参数测试解决方案
Keithley的S600系列参数测试系统是专为晶圆厂和晶圆代工厂设计,能很大节省测试费用的新一代测试设备,这不仅包括购买时更合理的价格,也包括在系统升级换代时通过重新利用来保护他们的投资,并且有着更长的使用寿命。
S600系列参数测试系统
   单一平台上的晶圆级直流/射频测试
   专为最小化测试费用而设计
   应用广泛
   基于SECS/GEM的300mm和200mm自动化
产品介绍
技术文章
    高固定设备重用率将测试成本降至最低

吉时利的S600系列参数测试仪能够帮助广大厂商和圆片翻砂厂降低COT(测试成本)。半导体材料、设计规则和圆片尺寸的不断变化使得半导体工艺每隔18个月就出现一次“拐点”。这些快速的变化意味着,影响半导体厂商COT最重要的因素之一是固定设备重用,而不是初始设备成本。因此,能够对参数测试系统进行高效费比的升级以满足新的测试需求是非常关键的。大多数厂商一般都希望在多代工艺上能够实现70-80%的固定设备重用率,吉时利的参数测试仪能够在5个以上的工艺拐点跨度内实现具有业界领先水平的固定设备重用率。

S680测试仪是吉时利最新推出的基于S600 Linux或Solaris/UNIX平台的最强系统配置。与吉时利之前推出的S600系列系统一样,S680为用户提供了极高的测试产能,以及出色的直流测量功能和良好的测试灵活性。功能经过增强的S680能够满足最新的测量需求,能够用于超薄栅介质、SOI、新器件、新材料(例如铜和低k介质)、飞安级直流漏流测量和高性能BiCMOS与模拟器件射频测量的特征分析。

    适应器件技术的变化需求

S600系列测试仪适用于很广泛的测试环境,包括工艺控制、工艺和设备调节与优化、设备鉴定、圆片验收测试和器件建模与特征分析。它们具有较高的测试产能和较低的电流灵敏度,是采用SoC(片上系统)、FeRAM、MRAM、PCRAM和高密度器件等新器件制造技术的生产测试应用的理想选择。

随着半导体行业逐渐采用更大尺寸的圆片,广大厂商正面临着如何在不推迟生产周期的情况下寻找时间做出所需样品的挑战。S680具有高速的源-测量单元(SMU)和高产能的备选软件,例如完全并行测试和部位级(site-level)/实时自适应测试,能够帮助用户在测试300mm圆片的同时根据需要测试200mm的圆片。

S600系列测试范围
S600系列测试范围
S600系列测试范围

   每管脚电路增强了低值测量的精度
S600系列测试仪的设计能够对每个DUT管脚进行测试,实现电压/电流源/测量和电容测量功能。每个管脚还能够提供一个静态模拟接地连接或者一个近乎完美的开路,从而将漏流和寄生电容等二次效应减至最小,同时消除人为噪声。

S600系列系统的“每管脚电路”架构。S600系列的前置放大器结构利用长线缆和DUT与测量电路之间的一个基于舌簧继电器的开关矩阵,将系统中固有的寄生电容和漏电流减至最小,提高了电流灵敏度。
     S680 直流/射频参数测试系统
S680专为高灵敏度高速测试而设计。测量仪器位于系统机柜内,而前置放大器位于测试头。前置放大器用于在探针后数厘米内放大低电平信号,再将放大了的信号通过电缆传入系统机柜内的测量仪器。这一方法消除了一般电缆和开关矩阵效应带来的速度和灵敏度损失。一个单一类型的SMU具有宽动态量程。外部仪器可以使用八条通用管路直接连接到探针。
    射频功能选项

我们的射频选项 (RF Option) 被设计成一种能和直流参数一起顺序测试的,快速和简化的射频参数测试,其2端口参数测试可允许最大40GHz的带宽。它将射频和直流测试集合到一个单插入式的系统中,这在technology development和process monitoring领域里都是非常实用的。

    射频测试应用

器件建模是射频测试选件最重要的应用之一。所产生的数据兼容多种常用的器件建模工具包,包括BSIMPro、IC-CAP和UTMOS。器件建模实验室利用该选件能够进行模拟模型拟合,所需时间只相当于配置原来堆叠式射频测量系统所需时间的一小部分。利用该选件的软件中所包含的射频数据浏览器,数据分析所需的时间能够从几天减少到几分钟。

工艺监控是配备了这种射频测试选件的系统的另外一种常见应用。主要的应用是亚13Å先进晶体管栅氧化物的RFCV。用于将s参数转换为射频参数(例如fmax、ft、Rbb和Q)的测试宏也包含在其中。该系统同样非常适合于复杂信号的一般性分析,包括用户自定义的a1、a2、b1和b2的组合。

     Keithley Test Environment (KTE)
Keithley Test Environment (KTE)
    KTE软件为S400和S600系统及射频选件提供了一个强大的测试开发和执行环境。KTE平台化的兼容能力不仅为用户节省了掌握不同种机台的学习周期,也提供了一个平稳的过渡途径来保护工厂遇到系统升级时在测试软件上的投资。
Keithley Test Environment (KTE)
    KTE生产工具选项包括

   Keithley Recipe Manager可快速简单的开发,创建,修改,分配测试程序。
   Probe Card Manager使探针卡管理自动化,并可根据使用情况来安排PM。
   Copper Analysis Library提供了可加快和简化铜制程监控的特殊功能。
   AdapTestTM 可以简单的实现lot测试时间的控制,大大地节约测试与调试的时间。
   并行测试选项能够在一次探针接触过程中实现多达8个DUT的并行测试。

吉时利可以为测试单元提供完备的可操作模式
吉时利可以为测试单元提供完备的可操作模式